大面积碘化汞多晶薄膜的气相沉积生长和成像探测器

作者: 时间:2019-09-04 点击数:

  本研究通过近10年的技术探索和积累,已经掌握了成熟的原料提纯工艺。通过稳定的精细提纯技术,可获得纯度约5N的多晶HgI2粉体;通过在小面积(1cm2ITO玻璃上的沉积,生长了厚度100-1000µm、电阻率1010-1011Ω·cm的薄膜,获得了成熟可靠的薄膜沉积工艺。通过自行设计和精密加工的大面积沉积设备,采用优化工艺,严格控制薄膜沉积温度变化范围(0.5-1℃),成功的生长了36cm2的大面积碘化汞多晶薄膜。通过成像探测器性能测试,成功的获得了不锈钢螺母的成像照片,达到了安检和医学成像的基本要求;经过进一步工艺优化和调整,大面积(170 cm2)多晶薄膜的沉积技术已经趋于完善,样品成功率大于97%,将应用于医学成像检测。


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